一种光外差干涉检测修正系统及修正方法

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一种光外差干涉检测修正系统及修正方法
申请号:CN202410725928
申请日期:2024-06-06
公开号:CN118583274A
公开日期:2024-09-03
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种光外差干涉检测修正系统及修正方法,涉及光外差干涉检测修正技术领域。本发明包括光源模块、调制模块、检测模块、数据处理模块、自适应光学补偿模块、智能噪声抑制模块、远程监控和校准模块、处理模块。本发明通过自适应光学补偿模块实时监测这些环境参数,并利用自适应光学补偿模块进行动态调整,可以有效地消除这些干扰,保持光路的一致性和稳定性,而且自适应光学补偿模块具有高效的响应能力,能够在环境变化发生的瞬间进行调整,确保测量过程中光路始终处于最佳状态,这种实时修正能力不仅提高了系统的鲁棒性,还减少了由于环境变化导致的测量误差,从而提高了整体系统的可靠性和可重复性。
技术关键词
修正系统 远程监控模块 噪声抑制模块 光学补偿器 校准 干涉检测系统 数据处理模块 识别出噪声 光源模块 机器学习模型 采集系统 检测干涉图样 信号 检测修正方法 实时数据 滤除噪声 模糊隶属度函数
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