能谱成像方法、装置、设备和存储介质

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能谱成像方法、装置、设备和存储介质
申请号:CN202410726079
申请日期:2024-06-06
公开号:CN118298425B
公开日期:2024-10-11
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种能谱成像方法、装置、设备和存储介质。其中,方法包括:对目标样品的显微图像进行图像分割,得到图像分割结果;初始化当前区域的区域能谱图,在当前区域中确定至少两个采样点,并采集至少两个采样点的能谱数据;基于至少两个采样点的能谱数据,更新区域能谱图;将区域能谱图与图像分割结果进行比对,确定是否存在匹配失败区域;在存在匹配失败区域的情况下,在匹配失败区域以及匹配失败区域的设定邻域中确定至少两个采样点;返回获取采集至少两个采样点的能谱数据的步骤,直至不存在匹配失败区域,根据所有区域的区域能谱图确定目标样品的样品能谱图。解决了现有能谱成像方法存在无法快速确定样品能谱图的问题。
技术关键词
采样点 成像方法 控制电子显微镜 随机采样方法 控制旋转平台 邻域 图像分割模型 可读存储介质 数据获取模块 计算机 成像装置 电子设备 处理器通信 数据更新
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