一种利用声波共振频率监测气体纯度的装置及方法

本发明涉及一种利用声波共振频率监测气体纯度的装置及方法，所述装置包括测量声学共振腔、参考声学共振腔、信号采集模块、信号处理模块、激励信号源、功率放大模块及微处理器。所述激励信号源在微处理器控制下输出一定频率范围的激励信号经功率放大模块驱动扬声器发出声波，当声波频率与测量声学共振腔及参考声学共振腔的共振频率相同时产生共振增强的声波信号，分别通过微音器接收后，在微处理器内提取测量和参考共振频率并建立监测数学模型。所述参考声学共振腔完成高纯气体参考频率点测量，测量声学共振腔进行同种被测气体纯度共振频率测量。所述气体纯度监测方法通过求双共振信号频率的比值实现被测气体纯度监测，可以有效避免温度对系统监测气体纯度的影响，通过建立稳定的纯度监测数学模型，实现气体纯度的实时监测。