基于动画仿真的磁控溅射台沉积过程可视化方法

本发明涉及磁控溅射台沉积过程可视化领域，具体是基于动画仿真的磁控溅射台沉积过程可视化方法，获取磁控溅射台的设备信息，根据所述设备信息通过建模技术建立磁控溅射台的三维模型；根据磁控溅射沉积原理建立磁控溅射台沉积过程的数学模型；获取磁控溅射台的历史实验数据，对所述第一薄膜厚度模型进行修正后得到第二薄膜厚度模型；通过动画仿真技术模拟磁控溅射台沉积过程的动态变化，并将所述动态变化生成可视化动画。通过动画仿真，直观展示磁控溅射台沉积过程的动态变化，减少实验次数，节约研究成本，并且帮助研究人员深入理解和优化沉积过程。