摘要
本申请涉及细胞信号检测领域,特别涉及一种耦合微电穿孔的多尺寸微电极阵列检测装置及制备方法,多尺寸微电极阵列检测装置包括:第一微电极阵列器件,包括第一芯片、第一印刷电路板和第一细胞培养室,第一芯片包括混合尺寸的多个微电极;第二微电极阵列器件,包括第二芯片、第二印刷电路板和第二细胞培养室,第二芯片包括相同尺寸的多个微电极,不同第二微电极阵列器件的第二芯片上的微电极的尺寸不相同;电生理信号采集模块采集第一微电极阵列器件和第二微电极阵列器件采集到的细胞的电生理信号;上位机存储电生理信号采集模块采集的电生理信号数据和显示电生理信号数据,本申请提高细胞检测装置的适配性,提高细胞电生理信号检测结果精确性。
技术关键词
微电极阵列器件
印刷电路板电气
细胞培养室
玻璃基板
掩膜
信号采集模块
机械结构控制
参比电极
芯片
生理
层图案
磁控溅射技术
光刻机
正性光刻胶
多尺寸
细胞检测装置
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