一种用于高硬脆材料的水导激光加工系统及其加工方法

本发明公开一种用于高硬脆材料的水导激光加工系统及其加工方法，属于激光清洗和抛光技术领域，包括工作台，工作台上固接有工件加工定位平台，用于对待加工工件进行固定；精密水助激光加工装置，精密水助激光加工装置的输出端可发出激光束，同时可喷射高压气体和水助加工液体，高压气体与水助加工液体在喷出时混合，激光束位于水助加工液体内，激光束、高压气体与水助加工液体作用到待加工工件表面进行加工；驱动模块，设置在工作台上，驱动模块的输出端与精密水助激光加工装置的输出端相连接，用于驱动精密水助激光加工装置的输出端移动。本发明可防止工件过热引起的变形或损伤，提升激光清洗和抛光的效率和质量。