一种基于组合波导的超紧凑型三耦合器、制备方法及应用

本发明公开了一种基于组合波导的超紧凑型三耦合器、制备方法及应用，属于激光加工技术领域，所述三耦合器包括中心媒介波导、第一组合波导、第二组合波导及第三组合波导，所述第一组合波导及第二组波导均为两根圆形截面波导以一定的中心间距a拼接而成，并且通过锥区波导与耦合区波导相连；中心间距a定义为两根圆形截面波导圆心之间的距离；当组合波导以单模传输时，对应的两根圆形截面波导的最大中心间距定义为单模传输的中心间距上限b；其中，所述中心媒介波导为仅存在于耦合区的圆形截面波导；所述第一组合波导由第一端口区波导、第一锥区波导和第一耦合区波导依次连接组成；所述第二组合波导由第二端口区波导、第二锥区波导和第二耦合区波导依次连接组成；所述第三组合波导为圆形截面波导，视为两根圆形截面波导以中心间距拼接而成。基于这种设计，避免了器件内S弯波导的引入，同时能够实现紧凑的可控消逝场耦合，从而在空间上实现超紧凑的三耦合器，有效解决传统三耦合器横截面尺寸较大的问题，有利于提高其在集成光子芯片上的集成度。