一种高可靠性MEMS红外光源及其制作方法

本发明涉及一种高可靠性MEMS红外光源及其制作方法，其中MEMS红外光源包含基座、封装垫片、红外光源芯片、聚光杯和红外窗口；所述封装垫片置于基座上；所述红外光源芯片通过封装垫片支撑安装，与基座表面之间设置有间隙；所述聚光杯安装在基座上，对红外光源芯片辐射的红外光进行准直和聚焦；所述红外窗口安装在聚光杯的卡槽内；本发明通过增加垫片封装的方法，不仅减小了红外光源芯片传递至基座的热量损失，降低了MEMS红外光源的功耗，且垫片封装使得红外光源辐射区域下方空气与外界连通，极大地减小了MEMS红外光源工作时支撑薄膜的振动幅度，从而提高了MEMS红外光源的长期可靠性。