一种立体集成芯片、立体集成芯片的EMC塑封方法

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一种立体集成芯片、立体集成芯片的EMC塑封方法
申请号:CN202410755326
申请日期:2024-06-12
公开号:CN118571767A
公开日期:2024-08-30
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种立体集成芯片、立体集成芯片的EMC塑封方法,该方法包括:S1:对立体集成芯片切边;S2:对立体集成芯片塑封前去杂质处理;S3:对立体集成芯片进行5面或6面的EMC塑封,得到塑封后的立体集成芯片;S4:对每个塑封后的立体集成芯片制备通孔;S5:对通孔进行金属填充,完成立体集成芯片的EMC塑封。以解如何保证封装过程中芯片的底部不受损、无脏污的情况下,实现多层立体集成芯片的封装以及多层立体芯片的堆叠的技术问题。
技术关键词
集成芯片 塑封方法 焊接结构 多层立体 堆叠方法 传感器芯片 布线 切片方式 通孔 高深宽比 芯片结构 激光烧蚀 信号 基板 存储芯片 热压焊 包裹
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