摘要
本发明公开了一种立体集成芯片、立体集成芯片的EMC塑封方法,该方法包括:S1:对立体集成芯片切边;S2:对立体集成芯片塑封前去杂质处理;S3:对立体集成芯片进行5面或6面的EMC塑封,得到塑封后的立体集成芯片;S4:对每个塑封后的立体集成芯片制备通孔;S5:对通孔进行金属填充,完成立体集成芯片的EMC塑封。以解如何保证封装过程中芯片的底部不受损、无脏污的情况下,实现多层立体集成芯片的封装以及多层立体芯片的堆叠的技术问题。
技术关键词
集成芯片
塑封方法
焊接结构
多层立体
堆叠方法
传感器芯片
布线
切片方式
通孔
高深宽比
芯片结构
激光烧蚀
信号
基板
存储芯片
热压焊
包裹
系统为您推荐了相关专利信息
抗污结构
羽绒服
颜色传感器
远程控制模块
热风机
窄带带通滤波器
光学滤波系统
窄带带阻滤波器
窄带滤波
光学波导