一种高精度MEMS机械转角相位校正方法及装置

本申请涉及结构光三维成像技术领域，特别涉及一种高精度相位补偿方法和基于MEMS的单目结构光相机装置及电子设备。高精度相位补偿方法包括：在MEMS振镜旋转过程中随机选择2个以上的固定位置，获取MEMS振镜在旋转过程中经过这些位置的时间；调制激光器投射到MEMS振镜的光斑在棋盘格表面形成带有相位信息的条纹装光斑；计算棋盘格角点的像素坐标及相位信息；训练神经网络模型并部署，得到当前旋转过程的相位抖动信息，从而计算相位信息。基于MEMS的单目结构光装置包括激光器、MEMS振镜、柱透镜或DOE设备、主控制器及神经网络设备，减小电路体积、降低时延。