声表面波谐振器、声表面波滤波器、射频芯片

本申请公开了一种声表面波谐振器、声表面波滤波器以及射频芯片，包括：压电衬底以及位于压电衬底第一侧的叉指换能器，在垂直于声表面波谐振器所在平面的方向上，叉指换能器包括至少一层金属合金层，金属合金层包括第一合金层以及位于第一合金层中的第一金属材料，第一金属材料用于提高金属合金层的功率耐受性，从而通过在第一合金层中掺杂第一金属材料的方式，提高金属合金层的功率耐受性，即提高叉指换能器的功率耐受性，进而提高声表面波谐振器的功率耐受性，使其可以满足工作在高频段范围时的功率耐受性要求，从而可以应用于高频段范围的射频芯片中，降低射频芯片的成本。