一种半导体集成电路测试系统

本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种半导体集成电路测试系统，包括EMI和RFI滤波补偿模块：使用主动噪声控制ANC或适应性噪声消除ANE的适应性滤波技术，对实际接收包含EMI和RFI信号的测试数据进行滤波处理以减少干扰后，输出滤波后的测试数据并传输至神经网络预测校准模块中；本发明通过设置EMI和RFI滤波补偿模块、环境参数调控模块和待测位置检测误差补正模块，综合的避免测试过程中的电磁干扰或射频干扰的影响、测试环境的不稳定影响和测试位置误差影响的问题，实现了有效滤波能够降低干扰的测量结果，提高测量数据的准确性，实现了实时调控温度、湿度的环境参数的功能，确保了测试环境的稳定性。