MOSFET器件模型建立方法、系统、设备及存储介质

本发明提供一种MOSFET器件模型建立方法、系统、设备及存储介质，涉及半导体器件仿真技术领域。该器件模型建立方法，包括：建立全局模型；在全局模型中按照器件尺寸阵列生成点模型；以大尺寸点模型为参考，采用逐步赋值法依次调节器件尺寸阵列中其他点模型的器件参数；其中，大尺寸点模型与大尺寸器件相对应，大尺寸器件为栅极长度最长且栅极宽度最宽的MOSFET器件；基于全局模型中的点模型，生成分块模型。本发明MOSFET器件模型建立方法，在全局模型基础上继续提取分块模型的过程中，采用逐步赋值法提取点模型的器件参数，使得所建立的分块模型具有良好的连续性和准确性，同时能有效减少建模过程中点模型提取时间。