一种爬壁机器人的多功能柔性触觉传感器及其制造方法

本发明公开了一种爬壁机器人的多功能柔性触觉传感器及其制造方法，所述多功能柔性触觉传感器的摩擦电传感单元位于压阻传感单元上方，压电传感单元设于压阻传感单元侧面，摩擦电传感单元包括黏附块、硅胶弹性结构膜和第一铜电极；硅胶弹性结构膜为几字型，延伸部由摩擦电材料制成，顶部和支撑部由弹性硅胶制成；当黏附块与材料表面接触后拉伸，延伸部和第一铜电极分离，脱离后，延伸部恢复至初始状态与第一铜电极接触，形成粘附接触、拉伸和分离的动作，得到摩擦电信号；在此过程中力的变化改变压阻材料电阻，得到电阻信号；压电传感单元的指状结构部在滑动接触表面的过程中产生振动，得到压电信号。