一种倒装芯片缺陷检测方法、系统、设备和介质

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一种倒装芯片缺陷检测方法、系统、设备和介质
申请号:CN202410766498
申请日期:2024-06-14
公开号:CN118445624B
公开日期:2024-11-15
类型:发明专利
摘要
本发明涉及一种倒装芯片缺陷检测方法、系统、设备和介质,其中,方法包括:步骤S1:采集倒装芯片的一维振动数据,并将采集的一维振动数据划分为训练集、测试集和未标记样本集;步骤S2:将所述训练集划分为支持集和查询集,基于所述支持集和所述查询集构建若干损失函数,通过若干损失函数对预先设置的改进原型网络进行训练;步骤S3:对所述未标记样本集中的样本赋予伪标签,得到伪标签样本,并扩充所述训练集,通过扩充的训练集对改进原型网络进一步训练,得到训练好的改进原型网络;步骤S4:将所述测试集导入训练好的改进原型网络进行缺陷检测,得到检测结果。本发明能够有效提高在小样本情况下倒装芯片缺陷检测的准确性。
技术关键词
样本 原型 缺陷检测方法 倒装芯片 嵌入特征 标签 标记 训练集 特征提取器 网络 校准 缺陷检测系统 信息熵 频率 数据 后验概率 处理器 模块 定义 超参数
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