一种基于激光加工引导毛细力调控Micro-LED排布的方法及装置

本发明涉及超快激光微纳加工与半导体光电技术的交叉领域，公开了一种基于激光加工引导毛细力调控Micro‑LED排布的方法，包括如下步骤：步骤1、对电路基板进行表面修饰，以改变基板表面的亲疏水性；步骤2、进行激光加工；将电路基板置于载物台上，设计激光加工参数，使用激光在电路基板表面加工诱导均匀的周期性沟槽微结构，使其表面具有超疏水的特性；本发明克服了以往只能在均匀基板表面实现流体自组装的弊端，通过超快激光对材料表面亲疏水性的选择性调控，能在材料不均且表面图案复杂的基板上实现微纳芯片自组装，以低成本高通量的技术完成微芯片的排布，据此实现Micro‑LED巨量转移。