摘要
一种金属层结构的制备方法、得到的产品及芯片制造方法,属于半导体制造工艺领域。所述金属层结构的图形化制备方法包括:在基底上形成第一可剥离介质层;在其上形成第二可剥离介质层;对两个可剥离介质层图案化,形成“檐”状双层剥离结构;在双层剥离结构上形成金属层;去除双层剥离结构,得厚度为0.1~50微米的目标金属层结构。本发明解决了厚金属层图形化的高精度难题,具备工艺成本低、工艺窗口大、工艺精度高、无需苛刻的光刻工艺要求等优势,极大提升了厚金属层图形化的工艺良率、简化了工艺流程。
技术关键词
金属层结构
介质
水溶性高分子膜
开孔区域
负性光刻胶
旋转涂胶
石墨烯材料
基底
层厚度
贴膜法
半导体芯片
电镀工艺
光刻工艺
剥离液
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