一种用于深腔测试的射频探针及测试方法

本发明公开了一种用于深腔测试的射频探针及测试方法，属于射频测试技术领域，包括弹性针尖（1）、微波吸收体（2）、固定座（3）、射频连接器组件（4）和线缆固定支架（5），其中，所述射频连接器组件（4）包括连接器部分和线缆部分，所述弹性针尖（1）设置于线缆部分的末端，所述线缆部分固定于线缆固定支架（5）上，测试方法为先根据测试高度H及测试角度θ设计制作线缆固定支架（5），再将所述射频连接器组件（4）的线缆部分弯折至与所述线缆固定支架（5）重合，然后再用紧固胶固定；本发明解决了特殊测试情况常规探针无法满足测试的问题，减少芯片排版设计压力，提升了芯片设计的灵活性。