一种基于纳米压痕测试求取薄膜弹性模量的方法

本发明公开了一种基于纳米压痕测试求取薄膜弹性模量的方法，包括构建自立式薄膜压痕测试的实验平台或仿真模型；测量压头尖端和薄膜样本的尺寸或根据需求设置压头尖端和薄膜样本的尺寸；利用实验平台或仿真软件对薄膜样本进行压痕操作，获得相应的载荷‑位移曲线；将多条载荷‑位移曲线呈现在一幅图中，去除偏差较大的曲线；将剩下的所有曲线求平均，得到平均曲线；通过拟合压痕响应的理论模型来确定薄膜的弹性模量；本发明提供了一种通用的压痕模型，可描述任意压头大小的压痕响应，以便从测试的载荷‑位移曲线中提取出薄膜的弹性模量；本方法无需根据压头的相对大小来选择合适的公式，也无需丰富的数据处理经验。