摘要
本发明提供一种传感器及电子设备,属于传感器技术领域,传感器包括基板,分别安装于基板的MEMS芯片和压电材料层,压电材料层能够在基板的变形下发生形变并输出电压信息;以及ASIC芯片,ASIC芯片分别与压电材料层和MEMS芯片信号连接,ASIC芯片用于接收电压信息,并根据电压信息调节MEMS芯片的偏置电压,通过偏置电压的调节来调节MEMS芯片的振膜的应力,以此来减小或抵消由于基板变形造成的MEMS芯片的振膜应力的变化,使得振膜的应力变化减小或者不变化,以此来确保传感器的灵敏度。
技术关键词
MEMS芯片
ASIC芯片
压电材料
电压
电子设备
应力
压电陶瓷片
传感器技术
玻璃基板
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麦克风
信号
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