基于表面等离子体的微环电光调制器的设计和制备方法

一种基于表面等离子体的微环电光调制器及其制备方法，包括：氧化硅层和铌酸锂层，其中：铌酸锂层上表面设有构成谐振环的欠耦合的硅跑道微环和直波导，直波导的两端分别为输入端和输出端，铌酸锂层中设有将光波转化为表面等离子体波的铌酸锂尖锥模式转换结构、铌酸锂脊波导和一对金电极，铌酸锂层和硅层之间设置用于光向上或向下传播的垂直耦合结构。本发明利用带有表面等离子体波导的硅微环，增强对光场的局域作用，显著提高调制器的调制效率，实现了大的带宽。同时设计过耦合微环，只有特定波长光耦合进入微环中，进行高速调制，削减了只靠表面等离子体传输带来的极大传输损耗。