一种芯片表面缺陷检测方法、装置及存储介质

本申请涉及芯片缺陷检测的技术领域，尤其涉及一种芯片表面缺陷检测方法、装置及存储介质，方法包括：获取包括目标芯片的检测区图像；根据与检测区图像中的目标芯片相对应的芯片图像模板，在检测区图像中匹配目标芯片的绑定矩形；根据绑定矩形，在检测区图像上确定多个检测点；连续判断每一检测点对应的灰度值与标准灰度值的第一差值是否大于第一差值阈值，并确定第一差值大于第一差值阈值的检测点为偏移点；确定每一偏移点的偏移得分值；判断偏移点中形成连续的串接偏移点的偏移总分值是否达到崩边分值，若存在串接偏移点的偏移总分值达到崩边分值，则确定目标芯片发生崩边。本申请可以实现提高芯片表面缺陷检测效率的有益效果。