摘要
一种芯片外表面低成本的复合型凸块工艺,芯片的底部设有硅基板,硅基板的上表面设有焊盘,焊盘的外侧设有钝化层,其特征在于,所述的焊盘和钝化层的上方设有复合型凸块,所述的复合型凸块包括银合金凸块和镍金薄膜,银在常温下虽然不会氧化却很容易硫化,电性使用上较活泼会有电子微迁徙现象,银凸合金块表面镀上一层镍金薄膜可以有效解决此一问题,若以当今黄金价格每公克66美元,而白银的每公克0.8美元来计算,一片12英吋的芯片约需使用到132美元的黄金,如果改采用白银则仅需花费1.6美元,如此巨大的成本差异,我们预估在未来的几年里,银凸快将可完全取代金凸块的市场地位。
技术关键词
凸块工艺
镀层
低成本
合金凸块
芯片
薄膜
基板
光刻胶显影
涂布光刻胶
焊盘
合金块
外包
黄金
蚀刻
电镀
外露
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