一种表征TOPCon太阳能电池结构中多晶硅层厚度的方法

本发明公开了一种表征TOPCon太阳能电池结构中多晶硅层厚度的方法，包括：构建多晶硅层反射率曲线数据库；其中，所述数据库中包括多种具有不同多晶硅层厚度的TOPCon制程片所对应的反射率曲线；获取待测样品的反射率曲线；其中，所述待测样品为待测量多晶硅层厚度的TOPCon制程片；基于所述数据库，根据待测样品的反射率曲线确定待测样品的多晶硅层厚度。本发明可监控多晶硅膜层厚度，从而及时发现工艺异常情况，提升TOPCon良品率。