清洗方法、计算机存储介质和基片处理系统

一种用于清洗连接到向基片吐出处理液的吐出部的供给流路的方法，包括：步骤(A)，经由供给流路将清洗液供给到吐出部，并从吐出部吐出清洗液；以及步骤(B)，基于异物检测器的检测结果来估计清洗是否已经完成，异物检测器被配置为检测供给到供给流路的清洗液中的异物，其中，步骤(B)包括：步骤(C)，基于异物检测器的检测结果的历史，估计清洗液的总吐出量增加时的异物检测器的检测结果达到稳定的清洗完成点；以及步骤(D)，基于所估计的清洗完成点，估计清洗是否已经完成。