抛光材料去除率分布预测模型训练方法、预测方法、存储介质和终端

本发明公开了一种抛光材料去除率分布预测模型训练方法、预测方法、存储介质和终端，其中训练方法包括：获取多条抛光材料去除率分布数据，通过可逆降维方法分别对每条抛光材料去除率分布数据进行降维处理，以获取分布关键特征；将抛光工艺与抛光垫物性参数集合中每个参数分别与抛光材料去除率分布数据的分布关键特征进行相关性分析，以获取抛光材料去除率分布数据的高相关性工艺和物性参数；将抛光材料去除率分布数据的高相关性工艺和物性参数与分布关键特征集成为训练数据集，基于训练数据集对预设网络模型进行训练，以获取抛光材料去除率分布预测模型。本发明采用机器学习模型，基于大量实际数据进行学习和预测，提高了决策的科学性和准确性。