摘要
本发明公开了一种光学滤光片生产用光学监控系统、方法及设备,涉及滤光片生产技术领域,包括光学监测模块、数据分析模块、控制调节模块和显示与预警模块,所述光学监控系统用于对光学滤光片的镀膜质量进行监控监测。本发明通过设置包括光学监测模块、数据分析模块、控制调节模块和相似与预警模块的光学监控系统,实现便于对光学滤光片的每层镀层的均匀性和厚度进行监测的目的,并且实现对不均匀镀层和厚度不合格的镀层进行智能调节的目的,提高光学滤光片镀膜的均匀性和镀膜合格率。
技术关键词
光学滤光片
光学监控系统
光学监控装置
镀层
数据分析模块
真空溅射镀膜
光学监控方法
工业相机
监测模块
直方图均衡化算法
预警模块
特征值
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