摘要
本发明属于加速器中电路芯片检测技术领域,涉及一种基于核孔膜的数字电路芯片单粒子翻转甄别系统和方法,包括:聚合物膜放置在待测数字电路芯片前;束流发射模块,用于发射束流,束流对聚合物膜和待测数字电路芯片进行辐照,生成核孔膜;单粒子翻转检测模块,用于检测待测数字电路芯片是否发生单粒子翻转;核孔膜检测模块,用于在发生单粒子翻转时,检测核孔膜上孔洞的位置;数据处理模块,用于在发生单粒子翻转时,确定单粒子翻转的位置,并将其与核孔膜上孔洞的位置进行比较,以确定单粒子翻转是否为束流引起的单粒子翻转。其基于核孔膜对数字电路芯片单粒子翻转来源是否由入射重离子导致进行甄别,可以增加甄别结果的可靠性。
技术关键词
甄别系统
粒子
数据处理模块
甄别方法
蚀刻模块
孔洞
地址转换
芯片检测技术
电源模块
高分子聚合物
逻辑
聚合物膜
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