适用于LPCVD设备的全自动上下料系统和方法

本申请提供了一种适用于LPCVD设备的全自动上下料系统和方法。全自动上下料系统包括机器人活动区和和独立于机器人活动区之外的操作区，其中具有LPCVD设备和与LPCVD设备邻接的LPCVD上下料区、复合机器人和上料台，其中，复合机器人，配置为在机器人活动区移动，复合机器人包括装载有花篮的随行工装、适于延伸的机械臂以及位于机械臂端部的夹持装置；上料台包括一个或多个样片仓，每个样片仓适于存放待处理花篮或已处理花篮，且复合机器人适于响应于上下料指令，通过夹持装置将待处理花篮自样片仓转移至复合机器人的随行工装内、或将已处理花篮自随行工装转移至样片仓。本申请可以全自动执行花篮的取放操作，提高LPCVD设备的上下料效率和上下料安全性。