一种用于芯片测试的压接温控装置和测试装置

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一种用于芯片测试的压接温控装置和测试装置
申请号:CN202410833531
申请日期:2024-06-26
公开号:CN118655447A
公开日期:2024-09-17
类型:发明专利
摘要
本公开提供一种用于芯片测试的压接温控装置,所述装置包括:压头组件,所述压头组件包括多个子压头,所述多个子压头间隔设置,用于压紧接触待测芯片的不同位置,并且用于实现对所述待测芯片不同位置的温度控制;以及调节组件,所述调节组件连接或压紧接触所述压头组件,并用于向所述压头组件传递压力,以实现所述多个子压头压紧接触所述待测芯片的不同位置。
技术关键词
待测芯片 压头组件 温控装置 液压组件 调节组件 控制器 通孔 温度传感器 驱动组件 框架 测试板 底板 限位块 压力 高密度 液体 混合物
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