一种测量差压、表压和温度的三位一体传感器

本发明公开了一种测量差压、表压和温度的三位一体传感器，包括管壳、芯体组件、端盖和温度检测模块；芯体组件包括芯体、基座、差压芯片、表压芯片和波纹膜片，波纹膜片密封安装于芯体的底部且与芯体底部之间形成密封腔室，密封腔室内设有密封介质；差压芯片和表压芯片安装于基座上，基座安装于密封腔室内，芯体密封安装于管壳上；端盖密封套设于芯体的周侧且与管壳密封连接；管壳上设有安置管道，温度检测模块安装于安置管道内；芯体、端盖和管壳上设有依次连通的空间以形成差压引压管路，差压引压管路的一端与差压芯片的负压端连通，差压引压管路的另一端则与待测压力腔室连通。本发明具有结构简单紧凑、集成度高等优点。