摘要
本发明提供了一种芯片封装结构及其制造方法,包括工作芯片,工作芯片中设置接触孔,且接触孔贯穿工作芯片;电源接触凸片,设置于工作芯片上,电源接触凸片覆盖接触孔的端面,其中电源接触凸片电性连接于工作芯片的电源电路,且电源接触凸片与电源电路的输入输出接口电性连接;电感片,设置在工作芯片上,电感片中设置深沟槽结构;第一金属层,连接于电感片的第一面,且第一金属层连接于深沟槽结构的一端,第一金属层与电源接触凸片电性连接;以及第二金属层,连接于电感片的第二面,第二金属层连接于深沟槽结构的另一端,且第二金属层连接于深沟槽结构的另一端,其中第二金属层在第一金属层上具有正投影,正投影的端部与第一金属层的端部重叠。
技术关键词
深沟槽结构
芯片封装结构
电感
输入输出接口
电源
接触孔
导流
电路
电流
层级
阵列
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