用于晶圆成像的扫描方法、装置、存储介质及电子设备

本发明公开了一种用于晶圆成像的扫描方法、装置、存储介质及电子设备，用于控制集成有图像采集装置的运动平台对晶圆进行螺旋扫描成像，该方法包括：获取在晶圆上的扫描半径、扫描线速度、以及螺旋的螺距，并根据扫描半径、扫描线速度以及螺旋的螺距计算运动平台的直线轴和旋转轴的初始点位和初始速度；按照直线轴和旋转轴的初始点位和速度控制运动平台开始对晶圆进行扫描，并按照螺旋点位分辨率实时计算提取直线轴和旋转轴的位置和速度，调用预设运动控制算法进行轨迹曲线动态捏合得到轨迹曲线；根据轨迹曲线控制运动平台对晶圆从外向内进行螺旋扫描成像。本发明解决了现有技术中在进行晶圆扫描成像时效率低的问题。