显微镜像差校正

本文公开了科学仪器支持系统，以及相关的方法、装置、计算设备和计算机可读介质。在一些实施方案中，用于科学仪器的支持装置包括接口设备和处理设备。接口设备接收利用科学仪器获取的伦奇图，并传送用于科学仪器的电子束光学器件的控制信号。处理设备将测得的伦奇图转换为用于变换器的输入令牌，基于以输入令牌结束的令牌化句子产生输出令牌，并且基于输入令牌和输出令牌确定对控制信号的调整。输入令牌和输出令牌属于多个令牌，该多个令牌表示对电子束光学器件的对准参数空间进行采样的参考伦奇图。变换器实现自回归掩蔽语言模型，该自回归掩蔽语言模型在表示通过对准参数空间到电子束光学器件的目标对准状态的路径的参考句子的语料库上训练。