一种端窗GM管封装方法及端窗复原装置

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一种端窗GM管封装方法及端窗复原装置
申请号:CN202410856564
申请日期:2024-06-28
公开号:CN118821535A
公开日期:2024-10-22
类型:发明专利
摘要
本发明属于端窗GM管封装技术领域,具体涉及一种端窗GM管封装方法及端窗复原装置;通过在端窗GM管的端窗外部附加防护结构提升端窗真空应力承受能力,完成端窗GM管真空排气和充气工序并密封封装后,再利用复原溶液对防护结构与端窗GM管各部件的溶解速率差异性去除防护结构,复原溶液能够完全溶解防护结构,同时不会损伤端窗GM管各部件材料,实现端窗无损复原;实施过程无需复杂真空控制系统,能够稳定实现端窗GM管真空排气与充气过程,直接在大气环境下完成端窗GM管封装,提升制备成品率,避免端窗GM管在制备过程中由于人为失误、真空控制器件老化、算法策略失效而导致端窗损伤,对大面积或新型端窗GM管的批量化生产具有重大意义。
技术关键词
真空排气 封装方法 磁控溅射镀膜 晶体 基片 金属材料 溶液 应力 真空控制系统 基材 数值仿真模型 放射源 无损伤 器件老化 恒温烘干 大气压下 加热容器
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