芯片封装方法和芯片封装结构

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芯片封装方法和芯片封装结构
申请号:CN202410856813
申请日期:2024-06-28
公开号:CN118676009A
公开日期:2024-09-20
类型:发明专利
摘要
本公开实施例涉及一种芯片封装方法和芯片封装结构。该方法包括:提供形成有多个间隔设置的导电插塞的基底;采用溅射工艺于基底的第一表面形成支撑保护层,支撑保护层靠近基底的表面与述基底贴合,支撑保护层远离基底的表面的平整度小于预设值;去除基底的第二表面的部分基底,以露出各导电插塞,第二表面与第一表面相对设置;将基底键合于载板上,基底的第二表面靠近载板;去除基底的第一表面的支撑保护层;将芯片倒装于基底的第一表面,芯片与导电插塞连接。实现对各导电插塞长度的精确控制,节约了耗材,提高了芯片封装结构的良率。
技术关键词
芯片封装方法 基底 芯片封装结构 导电凸块 光刻胶图形 隔离材料 湿法刻蚀工艺 应力缓冲层 载板 掩膜 机械 尺寸 凹槽
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