用于样本制备的焦点堆叠应用

方法和设备将焦点堆叠应用于样本制备，这改善分析任务的准确性、促进自动化，并且改善吞吐量。将焦点堆叠应用于具有不同焦深的样本图像的集合，以产生其中不同深度处的特征焦点对准的复合图像以及可选地深度图。从复合图像中选择样本位置，并且基于样本位置执行局部材料去除、测量或成像操作。使用来自深度图的深度值来设定用于执行局部操作的工具的工作深度。应用包括用于生物样本的低温TEM分析的薄片制备。公开了其他应用、技术和变型。