无掩膜光刻系统的直帧式数据处理方法及曝光系统

本发明的一种无掩膜光刻系统的直帧式数据处理方法及曝光系统，包括对待曝光图形进行图形变换处理，得到待曝光图形的副本；对待曝光图形的副本按数据处理单元待处理区域进行图形条带化，得到待曝光条带图形；依据预设的直接帧化算法，结合扫描步长、扫描方向、空间光调制器的配置和扫描倾斜角，逐帧改变帧化位置，并依据待曝光条带图形在帧化位置的图形集合生成帧图像，得到帧图像序列；本发明没有数据量巨大的条带栅格化、数据压缩和解压缩、条带图像倾斜化等步骤，减轻了数据计算、数据缓存与传输的压力，降低了对硬件资源的需求，提高了实时性，充分利用了数据处理单元的计算资源，简化了开发过程。