基于共聚焦的快速精准自动对焦芯片外观检测装置和方法

本发明公开了基于共聚焦的快速精准自动对焦芯片外观检测装置，通过运动控制模块驱动电动微运动模块进行精准地编码位移，实现图像传感器对目标区域的快速精准对焦，共聚焦传感模块对观测样品表面与图像传感器焦平面之间的距离进行实时高精度的测量和反馈；信息处理分析模块则根据共聚焦传感模块反馈的信号与目标值进行实时的对比，并输出对应的位移调整控制参数给运动控制模块进行实时调整，提高芯片外观检测的精度和速度。本发明通过实时精准测量和反馈样品表面到系统焦距之间距离偏差，图像采集模块对经过显微成像系统放大后的样品图像进行数据采集,提高芯片外观检测的自动对焦速度和精度。