一种缺陷检测方法及系统

本发明提供了一种缺陷检测方法及系统，该方法包括：实时采集化合物半导体表面的原始图像，并对原始图像进行二值分割处理，以生成对应的二值图像；对二值图像进行缩放处理，以生成对应的第一检测图像，并对原始图像进行缩放处理，以生成对应的第二检测图像；对第一检测图像以及第二检测图像进行通道拼接处理，以融合出对应的目标检测图像，并实时根据目标检测图像对应检测出化合物半导体表面存在的缺陷。本发明能够快速、准确的检测出化合物半导体表面存在的缺陷，对应提升了检测效率。