摘要
本发明公开了一种取放测试芯片的装置及方法,装置包括:飞梭盘包括多个芯片放置区,多个芯片放置区包括多个芯片放置行,至少部分相邻的芯片放置行之间的距离与其他相邻的芯片放置行之间的距离不同;测试主板包括多个芯片测试座,多个芯片测试座包括多个沿第二方向依次排列的芯片测试行,每一芯片测试行包括沿第一方向依次排列的多个芯片测试座,至少部分相邻芯片测试行之间的距离与其他相邻的芯片测试行之间的距离不同;测试手臂用于抓取飞梭盘中的未测试芯片,转移至测试主板,并且测试手臂还用于抓取测试主板中的已测试芯片,转移至飞梭盘。本发明可以提升取放测试芯片的效率,提高设备产能值,且可以同时测量不同尺寸的测试芯片。
技术关键词
芯片测试座
主板
测试机台
间距
产能
尺寸
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