光波导器件、及其制作方法和信号探测系统

本申请涉及光波导器件、及其制作方法和信号探测系统，涉及光波导传感技术领域，其包括光分路波导芯片、多个第一光纤、光收发波导芯片、多个第二光纤以及光电探测器阵列；所述光分路波导芯片用于耦合至激光源和多个所述第一光纤，且被配置为将从所述激光源接收的多个探测光一一对应的发送至所述第一光纤；所述光收发波导芯片用于耦合至多个所述第一光纤、探测元件和多个所述第二光纤，且被配置为经所述探测元件的多个反射光一一对应的发送至所述第二光纤；所述光电探测器阵列与多个所述第二光纤耦合对准，以对应接收所述反射光。本申请部分光路结构在使用过程中损坏，也只需要更换对应损坏的芯片，这样也减少了维护成本。