一种芯片三温测试机及测试系统

本发明提供一种芯片三温测试机及测试系统，涉及芯片检测技术领域。该芯片三温测试机包括测试模组、预热模组和转运模组，测试模组具有若干个测试工位，测试工位用于放置芯片；其中，测试模组能够测试位于测试工位的所述芯片；预热模组具有多个预热工位，预热工位用于放置芯片；其中，预热工位的数量大于测试工位；预热模组能够调节位于预热工位的芯片的温度；转运模组安装于所述测试腔内，转运模组被配置为能够转运芯片，以使芯片至少能够在测试工位和预热工位之间切换。本发明提供的芯片三温测试机能够节省制冷和制热的时间，简化工艺流程，进而提高测试效率。