一种反极性红光LED芯片及其制作方法

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一种反极性红光LED芯片及其制作方法
申请号:CN202410903171
申请日期:2024-07-08
公开号:CN118448530A
公开日期:2024-08-06
类型:发明专利
摘要
本发明涉及LED芯片技术领域,具体是涉及一种反极性红光LED芯片及其制作方法。该反极性红光LED芯片包括背面电极、Si衬底、第二键合层、第一键合层、阻挡层、Ag镜面、透明导电膜层、介质膜、注入层、P型窗口层、P型半导体层、发光层、N型半导体层、正面电极、高阻结构、钝化层。本发明通过从制作工艺上进行优化,得到的反极性红光LED芯片性能稳定,可靠性好,亮度高,该制作方法工艺可控,操作方便,成本低。
技术关键词
红光LED芯片 透明导电膜层 半导体层 红光LED外延片 背面电极 发光层 离子注入光刻 阻挡层 LED芯片技术 介质 离子注入方式 制作方法工艺 GaAs衬底 金属离子掺杂 制作方法制作 离子注入工艺 镜面 掺杂剂 电子束
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