摘要
本发明是关于一种微流控芯片及其制备方法,属于微流控芯片技术领域。该装置包括层叠设置的第一功能层、第二功能层以及第三功能层;所述第一功能层、所述第二功能层以及所述第三功能层分别由透光层、遮光层、导电层、导热层和过滤层中的至少一种组成,旨在提高微流控芯片的生产效率以及降低其生产成本,通过分层构造的方式将微流控芯片的各个功能结构承载在不同的功能层上,同时各个功能层还可设计出透光、遮光、导电、导热以及过滤功能,具有加工简单,制作效率高、加工成本低和微流道结构精确可控的特点。
技术关键词
乙烯醋酸乙烯酯
微流道
半绝缘多晶硅薄膜
复合导热填料
进样口
微流控芯片技术
试剂包
纳米压印工艺
填充导电膏
丙烯腈
丁二烯
导电层
共聚物
掺杂多晶硅
黑色母粒
薄膜层
透光
单晶薄膜
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