一种微型气相色谱仪呼气分子进样MEMS芯片及色谱仪

本申请实施例提供的微型气相色谱仪呼气分子进样MEMS芯片及色谱仪，涉及热脱附设备技术领域，该芯片包括：基板，具有多孔结构、进样口及出样口，所述多孔结构的孔壁设有吸附材料，所述进样口位于所述多孔结构的一侧，所述出样口位于所述多孔结构的另一侧；盖板，设置于所述基板的一侧；加热组件，设置于所述基板的另一侧，所述加热组件用于对所述基板进行加热；测温组件，设置于所述加热组件的同一侧，所述测温组件用于对所述基板进行实时测温。本申请实施例中，通过在基板中设置有多孔结构，多孔结构的孔壁设置吸附材料以实现气体吸附及脱附，实现了传统脱附仪的芯片化及小型化。