深亚微米级器件总剂量试验灵敏区剂量修正的方法

本发明公开了一种深亚微米级器件总剂量试验灵敏区剂量修正的方法，包括：仿真建模得到深亚微米级器件模型并仿真辐照试验环境统计器件模型中各板层的吸收剂量；添加平衡层的仿真模型并确定器件模型的敏感层达到次级电子平衡时平衡层的厚度；仿真出平衡模体并统计平衡模体的吸收剂量；判断未添加平衡层时辐照试验中待试验深亚微米级器件的敏感层是否能达到次级电子平衡，如果能则直接进行辐照试验；否则；在添加平衡层后再进行辐照试验。本发明中，通过仿真软件计算及试验对比认证，添加平衡层定位器件结构灵敏区，能够保证灵敏区的吸收剂量准确，显著减弱了辐照试验中伽马射线剂量建成区所产生的误差，能够准确保证辐照试验剂量的准确性。