一种基于周期性相移光栅的薄膜铌酸锂滤波器及相应的膜厚自适应方法

本发明属于集成光电子技术领域，公开了一种基于周期性相移光栅的薄膜铌酸锂滤波器及相应的膜厚自适应方法，该器件的铌酸锂薄膜层包括总线连接波导、模式转换器、过渡波导、周期性相移光栅反射器、直通过渡波导、直通连接波导和分支波导；周期性相移光栅反射器由矩形波导以及位于两侧的具有不等宽度的矩形光栅齿突起和矩形光栅齿槽凹陷构成；分布在矩形波导任意一侧的光栅齿每相隔距离L，对应的光栅齿其宽度将发生变化，其它光栅齿的宽度保持不变，由此形成相移。本发明通过对滤波器的细节结构进行改进，能够有效解决电子束曝光设备分辨率受限的情况下，光栅中心反射波长难以精细调控以及窄通道间距波分复用器实际制作难度大的技术问题。