摘要
本公开提供了一种发光二极管及其制备方法。所述方法包括:在生长衬底上制作外延结构;在所述外延结构上制作介质膜层,所述介质膜层具有多个通孔;在所述介质膜层上生长第一金属层,所述第一金属层通过多个所述通孔与所述外延结构电连接通过所述第二金属层将所述第一金属层键合到键合衬底上,并去除所述生长衬底;对所述外延结构进行图形化处理形成台阶结构;对所述外延结构进行氧气吹扫处理。
技术关键词
外延结构
台阶结构
发光二极管
半导体层
氧气
生长衬底
介质
电极板
台阶侧壁
层叠
通孔
托盘
功率
芯片
系统为您推荐了相关专利信息
感测电阻器
通道
节点
延迟电路
半导体芯片封装体
氧气
保护气体流量
氧含量监测装置
数据处理单元
流通池
全彩显示屏
表面贴装发光二极管
LED晶片支架
填充剂
导电体
电力监控系统
信号电路
调试工具
中央控制模块
芯片