摘要
本发明公开了一种芯片的钝化膜及生产工艺,包括以下重量份原料:氮化硼纳米片40~60份、硅烷偶联剂KH‑560 5~8份、无水乙醇12~17份、去离子水15~25份、水性环氧树脂3~5份、冰乙酸1~3份,本发明涉及钝化膜技术领域。该芯片的钝化膜及生产工艺,对氮化硼纳米片进行处理,再添加至钝化液中,有效提高了制备的钝化膜的耐腐蚀性能,从而提高了对芯片的防护效果,延长芯片的使用寿命。
技术关键词
氮化硼纳米片
水性环氧树脂
芯片
氮化硼粉末
硅烷偶联剂
冰乙酸
工艺设备
去离子水
催化剂
滤渣
浓硫酸
溶液
苯甲酸
真空度
速率
冰水
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